Моделирование процесса лазерного отжига структуры “кремний-стекловидный диэлектрик”
Малюков С.П., Куликова И.В., Калашников Г.В. Изд: Известия ЮФУ. Технические науки. №7, 2011. С. 182 – 188.
Малюков С.П., Куликова И.В., Калашников Г.В. Изд: Известия ЮФУ. Технические науки. №7, 2011. С. 182 – 188.